反向间隙是由于在行程移动方向的反转引起的位置误差。反向运动是指令运动的一部分，要求在运动方向反转时不会产生位置变化。齿隙是由传动系统中元件之间的间隙引起的，随着间隙的增加，间隙误差也增大，反向间隙影响双向重复性，基于直线电机运动平台是直接驱动的，因此具有零间隙。
